在做半導(dǎo)體時(shí)石英坩堝為什么還要要套上石墨坩堝?
石墨坩堝的主體原料,是結(jié)晶形天然石墨。故它保持著天然石墨原有的各種理化特性。
石墨坩堝具有杰出的熱導(dǎo)性和耐高溫性,在高溫使用過(guò)程中,熱膨脹系數(shù)小,對(duì)急熱、急冷具有必定抗應(yīng)變功能。對(duì)酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強(qiáng),具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。
石墨坩堝,因具有以上優(yōu)良的功能,所以在冶金、鑄造、機(jī)械、化工等工業(yè)部門(mén),被廣泛用于合金工具鋼的鍛煉和有色金屬及其合金的熔煉。并有著較好的技術(shù)經(jīng)濟(jì)作用。
直拉法生產(chǎn)單晶硅時(shí)的情況,石英坩堝為什么要套上石墨坩堝?
主要起輔佐熱場(chǎng)穩(wěn)定性進(jìn)行拉制單晶硅的作用
1.石墨坩堝杰出的熱穩(wěn)定性
2. 石墨坩堝杰出的耐腐蝕、耐沖擊功能、以保證產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。
3. 石墨坩堝杰出的耐強(qiáng)酸 、強(qiáng)堿。
4. 石墨坩堝杰出的熱傳導(dǎo)功能:可以極大縮短熔煉時(shí)刻,節(jié)約能源。
5. 石墨坩堝的灰分小于300pp,保證貴金屬在鍛煉中不被污染。
具有杰出的中子減速功能,最早作為減速劑用于原子反應(yīng)堆中,石墨反應(yīng)堆是目前使用較多的一種原子反應(yīng)堆。作為動(dòng)力用的原子能反應(yīng)堆中的減速資料應(yīng)當(dāng)具有高熔點(diǎn)、穩(wěn)定、耐腐蝕的功能。
只是會(huì)增加熱阻,你放東西進(jìn)去加熱作用會(huì)變得很差。當(dāng)然如果你套得十分十分緊的話(huà),加熱后石墨坩堝可能會(huì)裂開(kāi)。石墨坩堝會(huì)在酒精燈上發(fā)生焚燒,石英坩堝因受熱不均可能會(huì)導(dǎo)致呈現(xiàn)裂縫 。
石英坩堝可在1650度以下使用,分通明和不通明兩種。用電弧法制的半通明石英坩堝是拉制大直徑單石英坩堝晶硅,是發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)資料。當(dāng)今,國(guó)際半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的通明石英坩堝。它具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺度大、精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。